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產(chǎn)品資料

無(wú)塵干燥箱

無(wú)塵干燥箱
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):無(wú)塵干燥箱
  • 產(chǎn)品型號(hào):PVC
  • 產(chǎn)品展商:Lab Companion 宏展
  • 產(chǎn)品文檔:無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
無(wú)塵干燥箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
產(chǎn)品描述

無(wú)塵干燥箱

 

無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 

一.無(wú)塵干燥箱用途:
PVC
無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 

二.無(wú)塵干燥箱特點(diǎn):
1.
在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*佳溫度控制精度。

三.無(wú)塵干燥箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

1.主要技術(shù)指標(biāo):
   
無(wú)塵等級(jí):Class 100;                   溫度范圍: 60~ +300℃;
 
  溫度均勻度:200℃±4℃;             溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        
   
溫控精度:±0.1℃;                        工作尺寸:W800×D600×H1300         
  
 電源:380v , 50Hz,15KW         網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA
過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。*小限度控制風(fēng)速距離。
M計(jì)裝可編程控制
1
模式20步驟,*多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

 

型號(hào) 

溫度范圍

內(nèi)容積

其它參數(shù)

內(nèi)尺寸
W×H×Dmm

外尺寸
W×H×Dmm

PVC-178

(RT+60)+200

178L

潔凈度:100級(jí)

580×530×580

770×1,280×1,025

PVC-380

(RT+60)+200

380L

潔凈度:100級(jí)

580×1130×580

770×1,880×1,025

PVC-678

(RT+60)+200

678L

潔凈度:100級(jí)

800×1130×750

1,030×1,880×1,025

PVHC-178

(RT+60)+350

178L

潔凈度:100級(jí)

580×530×580

770×1,280×1,025

PVHC-380

(RT+60)+350

380L

潔凈度:100級(jí)

580×1,130×580

770×1,880×1,025

PVHC-678

(RT+60)+350

678L

潔凈度:100級(jí)

800×1,130×750

1030×1,880×1,210

PVHC-347MS

(RT+60)+300

347L

潔凈度:100級(jí)

580×1,130×530

770×1,880×1,025

PVHC-633MS

(RT+60+300

633L

潔凈度:100級(jí)

800×1,130×700

1,030×1,880×1,210

 

2、箱體結(jié)構(gòu):
   
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
   箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
   內(nèi)膽材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
 
  中桶材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng):
   
采用臺(tái)灣“宣榮”CAHO溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,**度±0.3%FS。;
   訊號(hào)來(lái)源:采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

4、完善的**保護(hù)措施:
漏電斷路器、     控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門(mén)面**開(kāi)關(guān)

5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi)):
   
可程式溫控器        無(wú)紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

 

注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。   


        宏展擁有一個(gè)專(zhuān)業(yè)從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備研發(fā)的科研機(jī)構(gòu),具備成熟的環(huán)試研制手段與試驗(yàn)室,聚集了行業(yè)內(nèi)一批優(yōu)良的各類(lèi)人才和知名專(zhuān)家,強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)**著國(guó)內(nèi)環(huán)試技術(shù)發(fā)展方向.現(xiàn)目前公司具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、快速溫度變化試驗(yàn)箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱、三綜合試驗(yàn)箱、高低溫低氣壓試驗(yàn)箱、太陽(yáng)輻射試驗(yàn)箱、工業(yè)烤箱以及步入式高低溫濕熱試驗(yàn)箱和高風(fēng)速淋雨試驗(yàn)箱等氣候環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備及訂制產(chǎn)品處于國(guó)內(nèi)**、國(guó)際高水準(zhǔn)。 


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